摘要:本发明涉及一种全解耦双轴电容式微机械加速度计,属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。加速度计中,立柱固定在加速度计的基片上,横向和纵向折叠梁通过立柱固定在加速度计的基片上,横向和纵向可动电极分别与横向和纵向折叠梁相对固定,横向和纵向固定电极固定在加速度计的基片上,且分别与横向和纵向可动电极的位置相对,横向隔离梁与纵向可动电极相对固定,纵向隔离梁与横向可动电极相对固定,敏感质量块位于由横向和纵向隔离梁围成的方框中,敏感质量块的四角分别与横向和纵向隔离梁相对固定。本发明的加速度计,完全解决了双轴电容式微机械加速度计的机械交叉耦合问题,降低了测量误差,实现了对加速度的高精度测量。
- 专利类型发明专利
- 申请人紫光股份有限公司;
- 发明人高宏;王庆;
- 地址北京市海淀区清华大学紫光大楼605室
- 申请号CN200910242283.X
- 申请时间2009年12月11日
- 申请公布号CN101876665A
- 申请公布时间2010年11月03日
- 分类号G01P15/125(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;