摘要：本发明公开了一种相变温度测试系统，其结构为：加热炉的盖板上开有通光孔，加热炉内设有炉腔，样品架位于炉腔内，并位于通光孔的正下方，在通光孔的上方放置有激光器和光电探测器，光电探测器位于待测样品对激光束的反射光路上。本发明可以增设信号放大采集电路、温度控制传感电路和数据处理器。通过该系统测试灵敏度较高，能测定膜厚低至1nm的薄膜的相变温度；且可直接测量薄膜样品的相变温度，对样品无损伤；通过不同升温速率下的变温测量还可获得更多的材料热力学参数。操作简单，成本低廉，测试可靠度较高。
- 专利类型发明专利
- 申请人武汉嘉仪通科技有限公司;
- 发明人缪向水;童浩;程晓敏;
- 地址湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号
- 申请号CN200910273102.X
- 申请时间2009年12月08日
- 申请公布号CN101726506B
- 申请公布时间2016年03月02日
- 分类号G01N25/02(2006.01)I;G01N25/12(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
