摘要：本发明公开了一种电感耦合等离子体电源输出匹配电路，其包括一变压器，所述变压器的初级线圈与输入信号连接，所述变压器的次级线圈与第一可调节电容、第二可调节电容连接，第一可调节电容的另一端与工作线圈连接，第二可调节电容的另一端接地，所述第一可调节电容由第一电机调节，第二可调节电容由第二电机调节，所述第一电机、第二电机与一可检测工作线圈传输效率的信号反馈单元连接。该电路可根据工作线圈的工作情况自动调节输出匹配，使输出功率能以最大的效率传输至输出负载工作线圈上。
- 专利类型发明专利
- 申请人江苏天瑞仪器股份有限公司;
- 发明人应刚;张树龙;沈鹏飞;
- 地址215300 江苏省昆山市苇城南路1666号
- 申请号CN200910232136.4
- 申请时间2009年12月02日
- 申请公布号CN101718700A
- 申请公布时间2010年06月02日
- 分类号G01N21/73(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
