应用于LED激光切割设备的同轴影像系统

　　摘要：本发明涉及应用于LED激光切割设备的同轴影像系统应，包括同轴LED点光源模组、45度全反镜、广角CCD模组、第一45度分光镜、小视野高倍率上CCD模组、第二45度分光镜、波长选择镜、LED环形光源、聚焦镜、小视野高倍率下CCD模组，同轴LED点光源模组、广角CCD模组和小视野高倍率上CCD模组三者自上而下并排排布，波长选择镜安装在上CCD模组与聚焦镜之间，LED环形光源紧贴在聚焦镜上，聚焦镜正对于工件，在工件的下方安装小视野高倍率下CCD模组。本发明实现在LED激光切割设备中的同轴实时影像定位功能，广角CCD和小视野高倍率上CCD组合使用实现微米量级的测量精细度，小视野高倍率上CCD和小视野高倍率下CCD便捷切换满足正切、背切、表面粗化和背镀铝晶圆的切割。

专利类型发明专利
申请人苏州德龙激光有限公司;江阴德力激光设备有限公司;
发明人赵裕兴;徐海宾;
地址215021 江苏省苏州市工业园区苏虹中路77号
申请号CN200910027563.9
申请时间2009年05月12日
申请公布号CN101559629B
申请公布时间2011年08月17日
分类号B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I;