摘要：本发明的一种实施方式是为高产量而对部件传送进行自动化的技术。携带包含多个部件的舟的舟传送单元(BTU)臂从初始位置旋转到位于处理室下方的第一位置。BTU臂与用于支撑舟的舟支座相接合。BTU臂向上移动到第二位置，从而舟部分地进入到处理室中，离处理室的入口的距离为D。携带基座的升降机臂接合到舟支座的下侧。BTU臂从所述第二位置移开。升降机臂向上移动，将舟完全插入到处理室内。
- 专利类型PCT发明
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人A·A·埃玛尼;M·阿加莫哈马迪;S·赛德伊;
- 地址中国北京市朝阳区酒仙桥东路1号741信箱1分箱
- 申请号CN200780043452.6
- 申请时间2007年11月08日
- 申请公布号CN101553913B
- 申请公布时间2011年05月18日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
