摘要：本发明公开了一种适应基片交接位置误差的机械手传递装置，由机械手和与之配套的基片托构成，其特点是在机械手的腕部安装了变远心顺应机构，该变远心顺应机构能够自动调整和适应机械手前部取托指和基片托配位时的位置误差，从而顺利完成基片的传递交接，因此采用本发明进行基片的传递，可减少监控元件的使用数量，同时简化整套机械传递装置的自动控制系统，从而大大降低设备制造和使用成本，并可显著提高镀膜产品的质量和成品率。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州硕光科技有限公司;
- 发明人吴向方;黄伦;
- 地址215000江苏省苏州市高新区玉山路1号
- 申请号CN200910115211.9
- 申请时间2009年04月15日
- 申请公布号CN101525739A
- 申请公布时间2009年09月09日
- 分类号C23C14/54(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
