摘要：本发明涉及一种用湿法处理盘状物的装置及方法，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在载体的上方设置有分配器，在载体的外围设有环状液体收集器，载体位于环状液体收集器的环口附近，在环状液体收集器中设有内层、外层和至少一个中间层，内层、外层和至中间层的空间为液体回收腔室，在液体回收腔室的侧壁上设有排气孔，排气孔通过管路与集气腔室相连接，在外层与中间层上分别设有固定段和升降段，中间层的升降段还与升降机构相连接，中间层的升降段的上下升降是用于将工艺后的工艺液体回收到不同的回收腔室。本发明通过对液体回收腔室的气、液的分开收集来减少气、液混合，避免液体被吸入排气孔。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张豹;韩雷刚;张晓红;王锐廷;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN200910079703.7
- 申请时间2009年03月06日
- 申请公布号CN101488470B
- 申请公布时间2012年03月07日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
