摘要:本发明涉及光学镀膜用石英晶体监控片。它包括基底石英晶片、镀在基底石英晶片两面的底融层及镀在底融层上的电极层,在电极层上还镀有一层表融层。由于本发明在传统的金、银电极层上又加镀了一层附着力很强的铬、镍、钛、铝等金属,有效地增加了电极层与沉积膜之间的附着力,进而实现了增加沉积膜厚度的目的。使用本发明能提高镀膜的生产效率,增加石英晶体监控片的使用寿命,有效地降低生产成本。
- 专利类型发明专利
- 申请人嘉兴晶控电子有限公司;
- 发明人王祖勇;
- 地址314009浙江省嘉兴市南湖区余新镇镇北路嘉兴晶控电子有限公司
- 申请号CN200910095269.1
- 申请时间2009年01月06日
- 申请公布号CN101475321A
- 申请公布时间2009年07月08日
- 分类号C03C17/36(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I;