一种顶针顶出机构及包含该机构的高精度运动部件

　　摘要：本发明的公开了一种顶针顶出机构，包括内套，沿内套的周向设置有多个凸轮槽，所述凸轮槽具有水平槽部和与水平槽部呈一定角度向上延伸的斜槽部；芯轴，与内套同心设置，且固连于内套；顶针安装座，可旋转的联接于芯轴；多个顶针升降销轴，沿周向固连于顶针安装座，与凸轮槽相对应，分别通过第一滚动轴承配合于凸轮槽内；多个顶针，固连于顶针安装座向上的侧面；弹簧，穿接于芯轴上，顶针安装座向下的侧面与内套底面之间；以及外套，与内套同心设置，可相对内套旋转，具有与所述多个凸轮槽高度相对应的直槽，所述多个顶针升降销轴分别通过第二滚动轴承配合于所述直槽内。本发明还公开了具有上述顶针顶出机构的高精度运动部件。

专利类型发明专利
申请人深圳市矽电半导体设备有限公司;
发明人康春凤;胡泓;杨应俊;
地址518000 广东省深圳市龙岗区龙城清林西路深圳市留学人员创业园一园412室
申请号CN200710188371.7
申请时间2007年11月20日
申请公布号CN101441225B
申请公布时间2011年05月11日
分类号G01R1/02(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;