一种透明导电膜的制备方法

　　摘要：本发明公开了一种透明导电膜的制备方法，包括以下步骤：(1)在透明基板上用有机材料形成图案；(2)开启气相沉积源，在该基板上以物理气相沉积方式沉积一层透明导电膜；(3)开启气相沉积源，在透明导电膜上以物理气相沉积方式沉积一层透明保护膜；(4)将该基板上的有机材料以及其上的透明导电膜和透明保护膜去除。本发明在制备透明导电膜之后随即沉积一层保护膜，因此在沉积保护膜之前透明导电膜并未暴露于空气而氧化。保护膜不仅能较好的防止或减缓透明导电膜的氧化，同时因其具有较高的硬度而具有防划功能、具有较低的折射率而具有减反功能。

专利类型发明专利
申请人北京东方新材科技有限公司;
发明人张云龙;徐健;程云立;承高建;
地址100085北京市海淀区上地信息产业基地三街九号金隅大厦C座1112室
申请号CN200810119982.0
申请时间2008年10月21日
申请公布号CN101430944A
申请公布时间2009年05月13日
分类号H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;