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    一种使用MEMS微镜检测触摸物坐标的光路系统

      摘要:本发明涉及一种使用MEMS微镜构建的、用于测触摸物的坐标的光学扫描系统。本发明使用偏转角度与驱动电压或电流成一定函数关系的MEMS微反射镜作为光反射元件,在光学组件的光路上安装有激光源、透射面面对光源的半反射镜,以及面向半反射镜的反射面光学接收元件。在被检测区域相邻的两个角部,安装有两套这样的光扫描组件构成光扫描系统。在检测到触摸标的物所反射的光线以后,根据两个MEMS微反射镜的偏转角度,利用两条入射反射光线之间的几何关系,计算得到触摸物的坐标值。由于本发明的结构属于半永久性的结构,因此具有非常长的使用寿命;并且所使用的元件都是微型或小型元件,因此可以用于体积很小的设备。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人北京汇冠新技术股份有限公司;
    • 发明人刘建军;叶新林;刘新斌;
    • 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路M8楼B座4层
    • 申请号CN200710119764.2
    • 申请时间2007年07月31日
    • 申请公布号CN101118314B
    • 申请公布时间2010年08月11日
    • 分类号G02B26/10(2006.01)I;G02B17/06(2006.01)I;