摘要：本发明公开了一种双加热装置，它包括沉积室(1)，基片加热器(2)固定在沉积室(1)上方，基片加热器(2)的基片放置面(4)向下，镁锭加热器(3)与沉积室(1)内下方连接，镁锭加热器(3)的镁锭放置面(5)向上，沉积室(1)设有通气口(6)和真空泵(10)。本发明的装置结构简单，容易操作，成本低廉；用化学气相沉积法制备多层超导薄膜，保证了所制成的多层超导薄膜不但均匀性好，而且面积大(直径可达到100mm以上)，利于实际应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人贵州大学;
- 发明人傅兴华;王松;杨发顺;杨健;
- 地址550003贵州省贵阳市蔡家关
- 申请号CN200610201503.0
- 申请时间2006年12月31日
- 申请公布号CN100529175C
- 申请公布时间2009年08月19日
- 分类号C23C16/46(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;
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