摘要：一种晶圆片的定位装置及定位方法，定位装置包括定位台和驱动装置，定位台的下部设有吸附装置，在定位台的一侧设有光源，在定位台的另一侧设有光电传感器，光电传感器与控制器电连接，定位台的旁边设有可水平直线移动的机械手，定位台的中心位于机械手移动的轨迹上。光电传感器包括多个光敏元，光电传感器每隔一段时间采集光信号，将采集到的光信号转化为电信号送到控制器中。本发明的定位装置结构简单，定位方法巧妙，能够完成晶圆片准确的定位，并且具有很高的效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市矽电半导体设备有限公司;
- 发明人王建波;王胜利;胡泓;
- 地址518000广东省深圳市龙岗区龙城清林西路深圳市留学人员创业园一园412室
- 申请号CN200710151271.7
- 申请时间2007年09月18日
- 申请公布号CN100508158C
- 申请公布时间2009年07月01日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;
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