摘要：一种通过物理气相沉积对易氧化工件进行强化的方法以及用该方法处理的工件，包括：(1)在真空下采用载能离子轰击工件表面以去除氧化膜；(2)在工件表面沉积一层厚度为0.01-2微米的不易氧化的金属(Au、Pt等)或是能形成保护性氧化膜的金属(Al、Cr、Ni、Ti等)；(3)将工件加热至所需温度；(4)再次用载能离子轰击工件表面以去除步骤(2)中沉积的金属和(或)氧化膜；(5)以常规物理气相沉积方法在工件表面沉积一层或多于一层硬质膜层或其他膜层。本发明提供的表面处理方法通过升温前在工件表面沉积的不易氧化或是能形成保护性氧化膜的金属，很好地限制了工件表面氧化膜的厚度，能避免易氧化工件在物理气相沉积处理过程中因表面生成氧化膜而导致膜层结合不牢的问题。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京东方新材科技有限公司;
- 发明人徐健;张云龙;程云立;
- 地址100096北京市昌平区回龙观镇制版厂北区
- 申请号CN200710063072.0
- 申请时间2007年01月26日
- 申请公布号CN100473752C
- 申请公布时间2009年04月01日
- 分类号C23C14/00(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
