基于垂直位移扫描的接触式表面形貌测量方法及测量仪

　　摘要：本发明公开了一种基于垂直位移扫描的接触式表面形貌测量方法及其装置，它采用计算机驱动工作台垂直位移来进行测量，并扫描和采集工作台垂直移动的距离作为测量数据，输入计算机中作为该X-Y-Z坐标上采集到的Z坐标，通过移动工作台，重复采集多个坐标的测量数据，经过计算机处理后即可得到测量的工件表面形貌。本发明通过垂直移动工作台让杠杆在每个采样点上回到平衡位置来测量数据，大大提高了测量的精度。从而真正实现了高精度、大量程的接触测量，并且具有速度快、性价比高的特点。本发明可对不同材料构件的轮廓尺寸、形状、波度及表面粗糙度的二、三维接触式综合测量。

专利类型发明专利
申请人贵州大学;
发明人杨旭东;陈育荣;谢铁邦;李家春;
地址550003贵州省贵阳市蔡家关贵州大学科技处
申请号CN200610200069.4
申请时间2006年04月27日
申请公布号CN100422688C
申请公布时间2008年10月01日
分类号G01B21/20(2006.01);G01B21/30(2006.01);G01B11/24(2006.01);G01B11/30(2006.01);