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  • 教育装备采购网首页 > 知识产权 > 专利 > CN100398691C

    一种用于工模具表面强化的纳米多层镀膜装置

      摘要:本发明公开了一种用于工模具领域的纳米多层镀膜装置,其包括:真空室;圆筒形隔板支撑架,设有开口;至少四个隔板,安装于圆筒形隔板支撑架上且将真空室分隔成至少四个隔离室;中心抽气管,设有开口,设置于所述圆筒形隔板支撑架中;至少两个蒸发装置与至少一个离子源,设置于所述真空室的壁上;至少四个工件架,每个工件架分别安装于独立的所述隔离室中,所述工件架、圆筒形隔板支撑架和隔板可绕同一公转轴同步旋转;磁流体密封同心多轴传动装置;抽气口。本装置能沉积纳米多层膜并能对膜层成分和厚度进行调制,形成的多层膜中每一膜层成分单一,不同膜层之间能形成清晰尖锐的界面。本发明用于工模具及其他零部件的表面强化。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人北京东方新材科技有限公司;
    • 发明人徐健;程云立;张云龙;
    • 地址100096北京市昌平区回龙观镇制版厂北区
    • 申请号CN200510083078.5
    • 申请时间2005年07月14日
    • 申请公布号CN100398691C
    • 申请公布时间2008年07月02日
    • 分类号C23C14/22(2006.01);C23C14/24(2006.01);C23C14/50(2006.01);C23C14/35(2006.01);