摘要：本发明涉及一种微型全分析系统芯片高度定位方法：先用标准芯片调整光源和芯片工作台高度，使俯视时可观察到的光源聚焦点小于、等于微通道的宽度；工作芯片包括盖片和基片，键合法使基片的上表面与盖片下表面紧密贴合，盖片上刻有小孔，基片的上表面刻有微通道，所述小孔分别与相应的微通道相通，盖片的面积大于基片的面积，形成工作芯片安放在于芯片工作台上时的支撑定位面，使盖片上的支撑定位面与芯片工作台的台面相接触。本发明提供的芯片高度定位方法，可以避免芯片由于材料或加工技术差别，造成的芯片厚度差别带来的高度定位误差，不需要人工的反复调整也不需要高成本、高技术的自动调节系统，可轻松简单地保证每一块芯片相对于光源高度的正确定位。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海光谱仪器有限公司;
- 发明人王鹗;陈建钢;方群;刘志高;王伟;张涛;富景林;张大伟;
- 地址200233上海市漕河泾高新技术开发区钦州北路1122号91号楼十楼
- 申请号CN200610025730.2
- 申请时间2006年04月14日
- 申请公布号CN100359354C
- 申请公布时间2008年01月02日
- 分类号G02B7/00(2006.01);G01N21/00(2006.01);B81B7/00(2006.01);
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京公网安备11010802043465号
