摘要：本发明包括一种在衬底上制造有机/无机复合纳米结构的方法，包括：使用浸沾笔纳米刻蚀，在衬底上沉积具有嵌段共聚物和无机前驱体的溶液。该纳米结构包括具有宽度/直径小于1微米的点和/或线的阵列。本发明还包括一种器件，该器件包括有机/无机复合纳米级区域，其中该纳米级区域除了高度之外具有纳米级尺寸。
- 专利类型PCT发明
- 申请人西北大学;
- 发明人查德·A·米尔金;维纳亚克·P·德拉维德;苏明;刘晓刚;
- 地址美国伊利诺伊州
- 申请号CN02827280.3
- 申请时间2002年12月17日
- 申请公布号CN100345059C
- 申请公布时间2007年10月24日
- 分类号G03F7/00(2006.01);B82B3/00(2006.01);
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