单晶体的最大特点是各向异性,这也意味着无论在制备、使用还是研究单晶体时,都必须知道其取向。例如,在Si半导体集成器件和大规模集成电路的制备中,就需表面为{1 1 1}或{1 0 0}面的基片。此外,在晶体缺陷和相变的研究中,也需要考虑单晶体的位向问题。
X射线衍射方法的出现,在无损、准确地解决单晶定向难题的基础上,还能提供晶体内部微观完整性的信息。日本Pulstec公司基于特有的圆形全二维面探测器技术研发推出了新一代X射线单晶定向系统s-Laue。该设备配备六轴样品台,具有功率小(30 KV/1.5 mA)、操作简单、测试效率高(典型测试时间为60秒)等特点。同时,s-Laue提供台式、便携式两种类型设备,即能满足实验室小样品单晶定向需求,还可用于大型零件的现场晶体定向应用。
新一代X射线单晶定向系统s-Laue
部分用户单位:
由于上述突出的特点和明显的优势,s-Laue自推出以来受到科研工作者的广泛关注,目前已有国内外多个客户选择其用于其单晶体的科研工作。
部分测试数据展示:
单晶硅测试结果 Al2O3测试结果
样机体验:
为了便于广大客户全面了解和亲身体验新一代X射线单晶定向系统s-Laue,Quantum Design中国公司引进了s-Laue样机,目前该设备已安装于我公司实验室并调试完毕。即日起,我们欢迎对该设备感兴趣的老师和同学来访,我们在Quantum Design中国样机实验室恭候大家的到来。
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