2018年10月，Swisslitho 3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar在复旦大学张远波教授课题组成功安装。张远波教授是二维材料研究领域的国际学者，由于很多二维材料都对空气中的氧气和水蒸气很敏感，所以整个制备过程需要在手套箱惰性气氛保护下完成制备，这样做既可以大程度地保护样品，又可以减少不必要的转移工序。有鉴于此，Swisslitho公司提供了一整套的手套箱集成方案，实现原位表面结构刻蚀和实时形貌表征，的契合了张远波教授的要求。
图1：完成安装及调试后手套箱中的
3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar设备
整个安装过程非常顺利，在3D纳米结构高速直写机NanoFrazor Scholar完成安装的当周内，YU Yijun博士利用该设备探测表面覆盖超过300nm光刻胶的三层堆叠石墨烯，并在其上完成电图形的书写。去胶之后的电学测量结果显示其已经表现为个功能性器件。
NanoFrazor3D纳米结构高速直写机的加工过程具有直接性、低损伤和高速等特点，这些都对张教授的研究具有大的帮助。我们期待未来能够与课题组进一步紧密沟通合作，共同完成高速直写实验，不断增强微纳制备流程的高效性。
图2： (a) 手套箱中完成安装的NanoFrazor Scholar设备。
人员介绍（从左到右）：Simon Bonanni博士，DENG Yujun，YU Yijun博士。
(b) 由NanoFrazor Scholar探测获得的光刻胶层下的石墨烯片层形貌。
(c) 由NanoFrazor Scholar直接书写并去胶剥离后的石墨烯片层上电结构形貌。
(d) 石墨烯电结构的电学测量结果。
客户反馈：
“我们利用NanoFrazor Scholar来实现在手套箱内对精巧的二维材料表面制备电。NanoFrazor可以定位二维材料，并且可以实时快速反馈整个刻蚀过程，这些功能对我们来说是非常重要的，我们可以利用NanoFrazor快捷地完成高质量实验器件的制备。”
复旦大学张远波教授
