工具显微镜是作为高级的金相显微镜在使用。分为大型工具显微镜和小型工作显微镜，使用其进行测定，常用的测定方法有四种，分别是直角坐标测定、角度测定、高度测定和孔径测定。
1、大型工具显微镜。
它的回转工作台是采装配式，亦由精密十字形移动台和观测显微镜制成的，穿透照明设备是采用离心照明，支柱和工作台一体成型可以左右倾斜，螺纹测定非常便捷。眼观测部装有投影装置，可从事投影像之观测。
2、小型工具显微镜。
它是由精密十字移动工作台及观测显微镜构成的，是属于小型工具显微镜，设计时是以容易使用为主，所以支柱不会倾斜，照明设备亦采简易型，虽然容易但和许多附属品相连接后，就能够增加各种测定工作。
工具显微镜的一般测定的方法是什么呢?
1、直角坐标测定：
测定时必须使测定物的直角坐标方向和十字形工作台的移动方向一致时方可进行测定。采用直角坐标测定时由十字移动工作台的移动量就可直接读取直角坐标值，若是大型工具显微镜，使用瞄准孔直角坐标测定上的像连接观测眼即可正确测定，而在进行测定物直角坐标方向和十字移动工作台之校正时，使用装设在大型工具显微镜上的装配式旋转工作台非常方便，至于小型工具显微镜只要旋转台附件即可。
2、角度测定：
使用旋转工作台或角度观测透镜即可测定。一般而言角度观测透镜的精度较佳。
3、高度测定：
虽然小型工具显微镜无法测定高度，但是若把量银装在支柱的上端，然后利用显微镜的上下移动量就可测定高度了。然而，由于焦点深度，支柱倾度及量银和光轴间等因素误差，欲正确测定相当困难。
4、孔径测定：
一般是使用角度观测透镜测定，但大型工具显微镜则可使用重叠影象观测透镜或者光学探测子，就是使用重叠影象透镜，使生成的两种像重叠，接着在相对的一方亦然，于是由移动量即可显示孔的内径。假若是使用光学探测器，则先将它装设在3倍的对物透镜上，然后对准探测子和工作台的移动方向，再调整观测镜内之重叠线平行于观测透镜的十字线，而使测定子接触孔穴面。最后利用Y轴上的进给校正重叠线的逆向移动，并用X轴进给使重叠线夹住观测透镜的十子线，即可读取X轴上的测定值。相对侧的孔穴亦然，故有读取的差值再加上探测子的直径即可获得孔穴内径。
工具显微镜的测量对象是什么呢?
1.测量各种成型零件如样板、样板车刀、样板铣刀、冲模和凸轮的形状。
2.测量外螺纹(螺纹塞规、丝杆和蜗杆等)的中径、小径、螺距、牙型半角。
3.测量齿轮滚刀的导程、齿形和牙型角。
4.测量电路板、钻模或孔板上的孔的位置，键槽的对称度等形位误差。
